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2018年5月30日，巴斯夫今日宣布其位于浙江嘉興的新建電子級硫酸(H2SO4)裝置正式投入運營，將主要服務(wù)于國內(nèi)日益增長的半導(dǎo)體制造行業(yè)。在客戶強勁需求的推動下，該裝置尚未竣工即同時啟動擴建項目，擴容后產(chǎn)能將翻番。擴建項目預(yù)計將于今年年底投產(chǎn)。
該套新裝置位于上海西南的浙江省嘉興市海濱城鎮(zhèn)乍浦，配備了最先進的技術(shù)，將生產(chǎn)最高品質(zhì)的硫酸。因為在制造小于10納米單位數(shù)節(jié)點晶片的過程中需要經(jīng)過數(shù)百道清洗工序，新裝置所生產(chǎn)的硫酸將主要用于此過程中半導(dǎo)體晶片的清潔。這一裝置擁有先進的質(zhì)量分析設(shè)備和配有專用無塵室的分析實驗室，旨在滿足中國電子行業(yè)客戶的未來需求。
據(jù)悉，嘉興工廠產(chǎn)能一期是12000噸，二期擴建再增加12000噸，嘉興完成兩期擴建以后總產(chǎn)能是24000噸。與2005年投資的青浦工廠相比，青浦工廠生產(chǎn)高純度化學(xué)品，包括一些為客戶量身定做的混配產(chǎn)品。嘉興工廠所配置的電子級硫酸設(shè)備是具備有現(xiàn)在業(yè)內(nèi)最領(lǐng)先的，尤其擁有超純制程能力，而且配備先進的分析實驗室，還有質(zhì)量管控中心。在未來，這兩個工廠會同時運行，而且這兩個工廠之間將互補。
巴斯夫電子材料業(yè)務(wù)部亞太區(qū)副總裁言甯璿博士表示：“嘉興的新電子級硫酸裝置是巴斯夫在中國電子材料市場持續(xù)增長與拓展的又一重要舉措。中國已成為全球最大電子材料市場之一，而且還在不斷成長，我們很高興能夠參與這一增長勢頭。我們將更貼近客戶，為他們提供更迅捷、更高效的化學(xué)解決方案、更可靠的供應(yīng)和更穩(wěn)定的品質(zhì)?！?017年全球晶片出貨量，首次突破4000億美元。巴斯夫?qū)y手客戶共同創(chuàng)造化學(xué)新作用，創(chuàng)新電子產(chǎn)品未來。預(yù)計2019年中國內(nèi)地芯片的生產(chǎn)技術(shù)節(jié)點會前進到14納米，到2020年會突破7-10納米。嘉興工廠生產(chǎn)電子級硫酸，專注服務(wù)于半導(dǎo)體芯片制造企業(yè)，它的質(zhì)量水平能夠供應(yīng)下一代芯片制程，達7-10納米。嘉興工廠整個工藝過程中，最重要的是純化工藝，純化工藝?yán)锩孢\用以聚四氟乙烯作為內(nèi)襯的制程設(shè)備，是全自動化生產(chǎn)設(shè)備，包括在線生產(chǎn)控制系統(tǒng)。工廠有一個先進的裝車系統(tǒng)，還有一個過濾技術(shù)，最大程度實現(xiàn)去除微量金屬粒子。嘉興工廠配備先進分析設(shè)備還有無塵環(huán)境質(zhì)量控制室，金屬檢測水平達到千萬億分之一水平，這是國內(nèi)最領(lǐng)先設(shè)備。
巴斯夫嘉興裝置所生產(chǎn)的硫酸在性能水平上已經(jīng)超越了當(dāng)今速度最快、性能最優(yōu)的半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)要求，其質(zhì)量與穩(wěn)定性在業(yè)內(nèi)首屈一指。嘉興裝置依托巴斯夫全球研發(fā)網(wǎng)絡(luò)與專業(yè)生產(chǎn)技術(shù)，成功搭建出生產(chǎn)工藝的復(fù)雜架構(gòu)，并實施質(zhì)量管理專有體系。作為全球領(lǐng)先的電子材料供應(yīng)商，巴斯夫為電子行業(yè)提供多種解決方案，包括經(jīng)過高純度先進方法加工的特種化學(xué)品組合以及面向電子行業(yè)的應(yīng)用和定制化解決方案。
巴斯夫電子材料中國區(qū)總經(jīng)理竇崢先生表示，巴斯夫電子材料在國內(nèi)的目標(biāo)是為整個半導(dǎo)體行業(yè)增長提供生態(tài)體系。滿足這個行業(yè)三個大需求，要滿足客戶從實驗室進行測試的新產(chǎn)品，能夠?qū)崿F(xiàn)大規(guī)模的生產(chǎn)。第二，國內(nèi)晶圓廠需要提供可靠供應(yīng)的生產(chǎn)企業(yè)。第三，供貨能力體現(xiàn)于產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。巴斯夫所做的事情就是為了滿足客戶未來增長帶來的需求。
巴斯夫電子材料事業(yè)部中國區(qū)項目及工廠營運總監(jiān)李超先生補充道，半導(dǎo)體制程非常復(fù)雜，有幾百步制程在里面，這個過程當(dāng)中用到硅片清洗，而且這個過程在不斷反復(fù)，會用到很多化學(xué)品。巴斯夫提供這方面的解決方案，也提供電鍍銅/鈷解決方案，化學(xué)機器研磨解決方案，顯示影清洗解決方案。光伏里面提供用來做光電轉(zhuǎn)換作用的銀漿，提供發(fā)光二極管熒光粉，下游電子元器件行業(yè)里面，特別是金屬運用上面擁有先進金屬粉末喂料，還有高性能高分子聚合物，巴斯夫電子材料覆蓋行業(yè)比較廣泛，而且針對這個行業(yè)制程所需要的特殊材料，都能夠提供其所擁有的解決方案。巴斯夫優(yōu)勢在于可以從整個全球的資源體系里面，把對先進制程方面的經(jīng)驗帶到中國來，來支持中國客戶成長。
最后，言博士總結(jié)，希望帶給客戶真正的可持續(xù)的解決方案，生產(chǎn)過程當(dāng)中減少化學(xué)品使用量。希望能夠幫助客戶在制程工藝當(dāng)中能夠回收，再重新利用一些化學(xué)品，這就是巴斯夫利用全球布局生產(chǎn)研發(fā)網(wǎng)絡(luò)，帶來差異化的優(yōu)勢。
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